在半導體制造領域，工藝氣體的純凈度直接影響產品的質量和性能。微粒污染可能導致晶圓表面缺陷，進而影響芯片的良品率和可靠性。因此，高效的氣體過濾系統(tǒng)是確保半導體生產順利進行的關鍵。TF系列工藝氣體專用過濾器正是為滿足這一需求而設計的，它能夠精準清除UHP(超純)氣流中的微粒，保障生產過程的純凈度，是工藝氣體凈化的理想選擇。

產品特點

1、整體316L不銹鋼結構

卡套式T型氣體過濾器采用頂級316L不銹鋼材料，這種材料具有優(yōu)異的耐腐蝕性和機械強度，能夠在惡劣的工藝環(huán)境中保持穩(wěn)定性能。316L不銹鋼的低磁性和良好的焊接性能，使其成為制造高精度、高可靠性的氣體過濾器的理想材料。此外，316L不銹鋼的表面處理工藝能夠有效減少顆粒脫落，進一步保障氣體的純凈度。

2、高通量、低阻力

卡套式T型氣體過濾器的設計注重氣體流動的順暢性。其內部結構經過優(yōu)化，能夠實現高通量氣體的快速通過，同時保持極低的壓力損耗。這對于半導體生產工藝中對氣體流量和壓力的嚴格要求至關重要。低阻力設計不僅提高了生產效率，還降低了能源消耗，符合現代制造業(yè)對節(jié)能環(huán)保的要求。

3、超高顆粒攔截率

卡套式T型氣體過濾器的核心優(yōu)勢在于其卓越的微粒過濾效率。它能夠精準清除UHP超純氣流中的微粒，攔截率高達99.999%以上，確保氣體中微粒含量低于行業(yè)標準要求。這種高效的過濾性能得益于其先進的過濾介質和獨特的過濾結構設計，能夠有效捕捉并攔截氣體中的微小顆粒，防止其進入生產環(huán)境。

4、耐高溫、耐高壓、耐腐蝕

半導體生產工藝中，氣體過濾器需要承受高溫、高壓和腐蝕性氣體的挑戰(zhàn)。TF系列過濾器采用的316L不銹鋼材料，使其具備了耐高溫(最高可達200℃)、耐高壓(最大工作壓力可達10bar)和耐腐蝕的特性。這使得過濾器能夠在多種工藝氣體環(huán)境中穩(wěn)定運行，無論是高純氮氣、氧氣，還是腐蝕性較強的氣體，如氯氣、氫氟酸氣體等，都能有效過濾，確保氣體的純凈度。

5、適用于多種工藝氣體

卡套式T型氣體過濾器的設計充分考慮了半導體生產工藝的多樣性。它適用于多種工藝氣體，包括但不限于高純氮氣、氧氣、氬氣、氫氣等，以及一些具有腐蝕性的氣體，如氯氣、氫氟酸氣體等。這種廣泛的適用性使得TF系列過濾器能夠滿足半導體生產中不同工藝環(huán)節(jié)對氣體凈化的需求。

6、適用于潔凈室環(huán)境內制造、測試、包裝

半導體生產對環(huán)境的潔凈度要求極高，過濾閥三通過濾器完全符合潔凈室環(huán)境的使用標準。其制造、測試和包裝過程均在潔凈室內完成，確保產品在出廠前就處于無污染狀態(tài)。這種嚴格的生產流程保證了過濾器在安裝和使用過程中不會引入新的污染源，進一步保障了半導體生產的純凈度。

7、100%完整性測試

為了確保過濾器的性能和可靠性，過濾閥三通過濾器在出廠前經過100%完整性測試。這意味著每一件產品都經過嚴格的質量檢測，確保其過濾效率、密封性能和結構完整性符合最高標準。這種全面的質量控制措施為用戶提供了可靠的保障，減少了因過濾器故障導致的生產中斷風險。

8、100%氨氣檢漏測試

除了完整性測試外，過濾閥三通過濾器還經過100%氨氣檢漏測試。氨氣是一種靈敏的檢漏氣體，能夠檢測出微小的泄漏點。通過這種嚴格的測試，TF系列過濾器能夠確保在實際使用中不會發(fā)生氣體泄漏，保障生產環(huán)境的安全性和氣體的純凈度。

安裝與使用

1、安裝簡便

過濾閥三通過濾器的安裝過程非常簡便，僅需進行氣路對接和螺母緊固，無需復雜的焊接操作。這種設計不僅減少了安裝時間和成本，還避免了焊接過程中可能引入的污染和泄漏風險。其緊湊的結構設計使得過濾器能夠輕松安裝在現有的工藝氣路中，無需對現有設備進行大規(guī)模改造。

2、密封無憂

過濾閥三通過濾器采用先進的密封技術，確保在高壓和高溫條件下的密封性能。其密封部件采用高質量的耐腐蝕材料，能夠有效防止氣體泄漏。此外，過濾器的結構設計也經過優(yōu)化，進一步增強了密封性能。這種雙重保障使得用戶在使用過程中無需擔心泄漏問題，確保生產過程的安全和穩(wěn)定。