一、氣動三聯件概述

氣動三聯件，作為超高純電子特氣系統中的關鍵裝置，由空氣過濾器、減壓閥和油霧器三大核心元件組成。采用優質不銹鋼材質，具備耐腐蝕、結構精巧、工藝精良等顯著特點。在超高純電子特氣系統中，氣動三聯件發揮著至關重要的作用，對氣源進行過濾、減壓和潤滑處理，確保系統的穩定運行和高效性能。

1. 空氣過濾器

空氣過濾器負責凈化氣源，有效過濾壓縮空氣中的水分、油霧和固體雜質，為系統提供純凈的氣源。

2. 減壓閥

減壓閥對氣源進行穩壓處理，確保氣壓恒定，保護氣動系統中的閥門和執行器免受氣壓波動的影響。

3. 油霧器

油霧器負責潤滑機體運動部件，減少摩擦和磨損，延長設備使用壽命，同時提高系統的運行效率。

二、氣動三聯件安裝方法

1. 安裝前準備

部件檢查：確保購買的氣動三聯件所有部件齊全且完好無損，避免安裝過程中因部件缺失或損壞而影響使用。

接口確認：確認三聯件的進氣口與出氣口與接管接頭的牙型是否匹配，確保連接緊密，避免氣體泄漏。

管道清洗：清洗連接管道及接頭，去除油污和雜質，防止臟物帶入氣路，影響三聯件的過濾和潤滑效果。

油霧器準備：如需使用油霧器，請預先準備JIS K2213輸機油或ISOVg32潤滑油或同級用油，確保油霧器正常工作。

2. 安裝順序

在安裝氣動三聯件時，必須遵循特定的順序：氣路自空氣過濾器進入，經過減壓閥后，自油霧器出，油霧器的出氣口與下游設備相接。這一順序確保了氣體的過濾、減壓和潤滑過程，保證了設備的順暢運行。

3. 固定與調試

固定安裝：使用固定支架將三聯件固定在合適的位置，確保固定支架的凸槽與本體上凹槽匹配，再用固定片及螺絲鎖緊。穩固的安裝可以防止三聯件在運行過程中的振動和位移。

減壓閥調整：在調整減壓閥的工作壓力時，應先將油霧器拆下，避免對其造成意外損害。調整時，順時針旋轉減壓閥的旋鈕增加進氣流量(提高出口壓力)，逆時針旋轉則減少進氣流量(降低出口壓力)。調整完成后，重新安裝油霧器，并進行壓力測試，確保壓力穩定。

密封性檢查：確保每個連接口的密封性良好，使用密封墊圈或涂抹密封劑來防止氣體泄漏。良好的密封性是確保三聯件正常運行和氣壓穩定的關鍵。

4. 使用與維護

定期檢查：定期檢查氣動三聯件的工作狀況，及時替換濾芯等易損部件，確保三聯件的過濾和潤滑效果。

充分潤滑：確保對油霧器進行充分的潤滑，以延長設備的使用壽命和提高運行效率。

5. 注意事項

使用壓力：請勿超過三聯件的使用壓力范圍，以避免因超壓而引起的設備損壞或安全事故。

濾芯更換：當出口風量明顯減少時，應及時更換濾芯，以保證三聯件的過濾效果。

通過以上詳細的安裝指南，您可以更好地了解氣動三聯件在超高純電子特氣系統中的重要作用，并掌握正確的安裝方法。正確的安裝和維護將確保三聯件的穩定運行和高效性能，為您的超高純電子特氣系統提供可靠的氣源處理解決方案。