在半導體制造的真空腔體工藝中，氣體的純凈度與氣流的穩定性直接決定了晶圓的生產質量。深圳恒歌研發的 VCR316L 真空 3 納米過濾器，專為半導體制程中真空腔體快速放氣應用量身打造，憑借頂尖的過濾技術與穩定的結構設計，成為守護真空腔體環境的核心屏障。?

該過濾器的過濾精度高達 0.003um(即 3 納米)，采用不銹鋼粉末燒結介質，能高效攔截氣體中微小顆粒，防止微?；烊胝婵涨惑w。在晶圓光刻、薄膜沉積等關鍵工藝中，哪怕極細微的雜質都可能導致芯片缺陷，而 VCR316L 真空 3 納米過濾器可確保進入腔體的氣體達到超純標準，有效幫助企業提高產品合格率。?

產品采用整體 316L 不銹鋼結構，不僅具備出色的耐高溫、耐高壓、耐腐蝕性能，還能巧妙規避排氣時的湍流產生。湍流會破壞真空腔體的穩定環境，可能吹起腔體內殘留顆粒或影響硅片位置，進而干擾工藝精度。恒歌通過優化結構設計，讓氣體在排氣過程中保持平穩流動，從根源上減少湍流對工藝室環境的影響。?

同時，這款過濾器在潔凈室環境內完成制造、測試與包裝，每一臺產品都經過 100% 完整性測試和 100% 氨氣泄露檢測，確保出廠產品的可靠性與安全性。針對不同工廠的安裝空間差異，恒歌還提供定制化設計服務，讓過濾器能靈活適配各類設備布局。?

產品特點：?半導體制造超純氣體擴散器

1、3 納米高精度過濾：攔截微小顆粒，保障氣體超純。?

2、VCR316L 不銹鋼結構：耐極端環境，延長使用壽命。?

3、抑制湍流產生：維持氣流平穩，保護工藝環境。?

4、雙重嚴格檢測：100% 完整性與氨氣泄露檢測，質量可控。?

5、潔凈室全流程生產：避免二次污染，確保產品潔凈。?

VCR316L 真空 3 納米過濾器，以卓越的性能滿足半導體真空腔體快速放氣需求，為半導體制造企業的高效、高質量生產提供堅實保障。

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