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高純度多孔金屬限流器_氣體高流量過(guò)濾器100%氦氣測(cè)試


  • 供貨能力: 每月10000件以上
  • 定制方式: 來(lái)圖定制
  • 產(chǎn)地: 廣東深圳
  • 材質(zhì): 316/不銹鋼
  • 交期: 一周
  • 產(chǎn)品詳情

    多孔金屬限流器、通過(guò)與不同規(guī)格的氣阻配件結(jié)合、安裝在壓縮氣體供應(yīng)管線和氣體分配歧管中、以防止由于氣體管線破裂、閥門或壓力調(diào)節(jié)器故障、引起的意外高氣體流量。在半導(dǎo)體制程氣體輸送分配系統(tǒng)中、用于保護(hù)氣體流量穩(wěn)定可靠、減少氣體流動(dòng)負(fù)擔(dān)、避免氣體過(guò)載引發(fā)不良后果。結(jié)構(gòu)堅(jiān)因、更換便捷。

    產(chǎn)品特點(diǎn):

    1、結(jié)構(gòu)緊湊、節(jié)省空間

    2、通過(guò)更換氣阻配件、可定制不同流量

    3、流量控制可靠持久

    4、可用于高流量、高溫度與高壓力環(huán)境、減少氣體流動(dòng)負(fù)擔(dān)、不易堵塞、可形成層流整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)、無(wú)結(jié)構(gòu)彎曲或顆粒脫落

    5、使用壽命長(zhǎng)

    6、100%氨氣泄露檢測(cè)通過(guò)

    技術(shù)參數(shù)

    濾芯材質(zhì) 316L不銹鋼粉末燒結(jié) 殼體材質(zhì) 316L不銹鋼
    流量范圍 0.1sccm~40slpm 最大工作壓差 1500psig
    精度 +7.5% Base 可重復(fù)性 士0.1%
    最高使用溫度 460℃ 氦氣泄漏率 1×10-9cc/min
    密封面尺寸 1/4″‘VCR ? ?

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